表面潔凈度測試儀 檢測數(shù)據(jù)精準 表面潔凈度測試儀 檢測數(shù)據(jù)精準

概述：

表面潔凈度測試儀采接觸式，測量物體表面的粒子數(shù)量的設備!是半導體、面板廠、設備商與所有清潔部件廠商用于驗證部件表面是否干凈的檢驗標準工具，人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子，這些粒子會快速沉降，逃避常規(guī)的空氣檢測從而聚集在關鍵表面或產(chǎn)品上，從而減少產(chǎn)品的良率及降低產(chǎn)品的穩(wěn)定性。

執(zhí)行標準：

ISO14644-9：2022 《潔凈室和相關的受控環(huán)境第 9 部分：顆粒濃度表面清潔度的評估》

技術(shù)參數(shù)：

控制系統(tǒng)：PLC

操作界面：7寸觸摸屏

流量：28.3L/min+5% 內(nèi)置流量傳感器，流量自動閉環(huán)控制

光源：進口激光二JI管

測試粒徑：0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根據(jù)客戶需求定制，ZUI多八個通道）

ZUI大飽和濃度：2000000/ft³（5%）

自凈時間：≤10min

測量次數(shù)：0-99次周期：0-99999秒測量間：0-9999秒時時間：0-9999秒

潔凈度等級：1~9級

采樣頭規(guī)格：φ36.5

數(shù)據(jù)單位：m³、ft³

SCP等級：1級-8級

表面類型：圓形、方形

表面探頭：φ12.7mm、φ20mm、φ30mm、φ50mm、φ70mm

數(shù)據(jù)單位：m²、ft²、in²、cm²、mm²

根據(jù)探頭的形狀（如：圓形輸入直徑、方形輸入長寬尺寸），自動計算出表面積。

打印功能：熱敏打印機

數(shù)據(jù)儲存：可儲存100000組數(shù)據(jù)

重量：15kg

外形尺寸：300*400*450mm

電源：AC220V 50Hz  150W（可選帶鋰電池組）

基本配置：

主機一臺

說明書1份

合格證1份

簽收單1份

電源線1份

扳手1套

保修卡一個

銘牌一個